半导体及电子产品加工全过程,对环境干燥度有着极高的要求,任何环节的湿度超标,都可能引发连锁问题,影响产品质量与生产效率。高湿度环境下,电路接点易被腐蚀、芯片电路表面会凝结水分、光刻胶会出现粘连不当问题,直接导致半导体封装环节出现操作故障;焊接工艺中不良品率会显著上升,且具有吸湿性的光刻胶会吸收空气中的水分,致使微电路引线错误切断或连通,造成电路故障。
在晶圆制造区,旋涂机喷射显影剂为晶圆降温时,空气中的水蒸气易在晶圆表面凝结成水滴,导致显影剂化学特性改变,同时光刻胶吸潮会使高分子聚合物成分膨胀;光刻间若过于潮湿,二氧化硅会吸收水分、光刻胶粘连不当,进而造成晶圆在应力作用下断裂并产生表面缺陷。此外,高湿度还会加速真空泵老化,导致低温泵等真空设备转速降低,而降低相对湿度可提升批处理速度;水蒸气或水分凝结在低温外延设备表面,会腐蚀设备部件,引发运行故障并降低处理速度。
作为工业除湿机上游核心除湿部件供应商,我们的工业除湿转轮是除湿技术发挥作用的关键支撑。依托优质的转轮,能够助力除湿系统精准控制湿度,有效规避上述各类问题,为干燥工作间、无尘室及半导体各加工环节提供稳定适宜的环境,保障半导体及电子产品加工的顺利开展,间接为企业提升生产效率、降低不良品率提供有力保障。